是一種無色無臭氣體，化學性質穩定。微溶于水、醇及醚，可溶于氫氧化鉀。不與氫氧化鈉、液氨、鹽酸及水起化學的反應。300℃以下干燥環境中與銅、銀、鐵、鋁不反應。500℃以下對石英不起作用。250℃時與金屬鈉反應，-64℃時在液氨中反應。與硫化氫混合加熱則分解。200℃時，在特定的金屬如鋼及硅鋼存在下，能促使其緩慢分解。
標準氣體六氟化硫具有良好的電氣絕緣性能及優異的滅弧性能。其耐電強度為同一壓力下氮氣的2.5倍，擊穿電壓是空氣的2.5倍，滅弧能力是空氣的100倍，是一種優于空氣和油之間的新一代超高壓絕緣介質材料。六氟化硫以其良好的絕緣性能和滅弧性能，如：斷路器、高壓變壓器、氣封閉組合電容器、高壓傳輸線、互感器等。
電子級標準氣體高純六氟化硫是一種理想的電子蝕刻劑，被大量應用于微電子技術領域。冷凍工業作為制冷劑，制冷范圍可在-45℃～0℃之間。電氣工業利用其很高介電強度和良好的滅電弧性能，用作高壓開關、大容量變壓器、高壓電纜和氣體的絕緣材料。
采礦工業用作反吸附劑，用于礦井煤塵中置換氧。高純SF6還因其化學惰性、無毒、不燃及無腐蝕性，還被廣泛應用于金屬冶煉（如鎂合金熔化爐保護氣體）、航空航天、醫療（X光機、激光機）、氣象（示蹤分析）、化工（高級汽車輪胎、新型滅火器）等。隨著當今科技的發展，SF6涉及的領域不斷擴展，被越來越多的基礎領域和科技領域廣泛應用。
